吉本・松田グループでは、研究内容に示したような幅広い分野において、薄膜・ナノ構造やバルク材料を作製し、加工および評価するために数多くの装置を活用しています。
主な装置としては、以下の所有状況となっています。
薄膜作製装置: | パルスレーザ堆積装置 3台 |
特性評価装置: | 9台 (形状 / 電気 / 光学 / 機械) |
熱処理炉: | 6台 |
試料加工装置: | 3台 |
また、評価特性に応じて学内外の研究機関と連携し、一研究室の枠を越えた研究を進めています。
詳細は、それぞれのページに掲載しています。
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