第68回 応用物理学会 春季学術講演会(D1、M1学生)

2021年3月16日(火)~3月19日(金)、オンラインで開催された第68回 応用物理学会 春季学術講演会にて、D1 大賀、M1 金子(奈)・金子(健)・渡邉が研究発表をしました。
例年の春季講演会は首都圏で開催されますが、Covid-19感染拡大防止の観点からZoomを用いたオンライン開催となりました。
大賀環状オレフィンポリマー基板への種々の表面修飾が及ぼすZnO薄膜の配向結晶成長への影響
(19p-Z33-7 / 大賀友瑛・金子奈帆・金子智・松田晃史・吉本護)
金子(奈)熱ナノインプリントによるナノパターンを有するポリマー基板上へのリン酸Ca系薄膜の堆積
(19a-P01-3 / 金子奈帆・大賀友瑛・大島淳史・金子智・松田晃史・吉本護)
金子(健)真空紫外光(172 nm)照射によるPLD合成NiO薄膜の導電性への影響
(16a-Z33-4 / 金子健太・篠崎佳晴・金子智・松田晃史・吉本護)
渡邉紫外レーザーアニーリングによる種々の不純物をドープしたβ-Ga2O3薄膜の固相結晶化と特性評価
(17p-P06-4 / 渡邉一樹・松島拓海・大賀友瑛・土嶺信男・金子智・松田晃史・吉本護)
また、企業との共同研究成果も発表がありました。
共同
研究
EUV光源コレクターミラー保護膜における表面劣化の抑制
(18a-Z14-1 / 本田能之・永井伸治・森田昌幸・安藤正彦・松田晃史・吉本護)
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