“Surface morphology change of protective film on collector mirror related to implantation of Sn emitted from laser produced plasma in EUV light source”
Appl. Phys. Exp. Vol.13[11] (2020) 115501. / DOI: 10.35848/1882-0786/abbea3
産学連携論文が学術誌に掲載されました (Appl. Phys. Exp.)
半導体用最先端光源装置の開発会社「ギガフォトン(株)」との産学連携の研究成果(極端紫外光関連)が応用物理学会速報誌(APEX; Applied Physics Express)に論文掲載されました。