第75回 応用物理学会 秋季学術講演会

9/17~9/20、北海道大学 札幌キャンパスで開催された第75回 応用物理学会 秋季学術講演会にて博士(D2) 塩尻、修士(M2) 船迫、M1 劉、野沢、福田が研究発表してきました。
塩尻紫外レーザーアニーリングによるGa2O3薄膜の室温配向結晶化
船迫熱ナノインプリント法による非晶質材料表面へのシングルナノパターン転写
V2O5–P2O5系ガラスを用いた半導体塗布膜の作製および電気的接合形成
野沢熱ナノインプリント法によるガラス基板表面のシングルナノパターニングと薄膜成長制御
福田PLD法を用いたGa2O3薄膜結晶成長におけるバッファー層導入効果
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