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世界初、ポリマー表面の原子パターン形成に成功
アクリル樹脂(PMMA)表面に0.3 nm高さの周期的原子ステップを転写することに成功しました。
サファイア(α-Al2O3単結晶)ウェハ表面に自己組織化した”step & terrace”構造を鋳型として、熱ナノインプリント法により形状を精密・高精度に転写する技術です。この研究成果は、ポリマー材料表面の化学的特性制御を行ったり、結晶成長基板や微細物観察用の観察ステージなどへの応用が期待されます。
本研究内容は2014年4月、応用物理学会の英文速報誌”Applied Physics Express”に掲載されました。
http://iopscience.iop.org/1882-0786/7/5/055202 (外部の学術誌websiteです)
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